2024年9月，中国科学技术大学前副院长朱士尧在上海的公开场合说了句话，“美国都造不出来顶尖的极紫外光刻机，咱们中国也就别想了”，这事儿可给大家惹了个大动静。其实他就是想提醒大伙儿，顶级设备从来不是一个国家单干的事情，想把供应链100%自主闭环，就得先面对现实。这就好比ASML那台180吨重的光刻机，零件加起来超过十万个，他们自己掌握的核心技术连10%都不到，剩下的全靠全球5000多家供应商拼凑起来。 话虽这么说，中国这边可没被吓倒。上海微电子那边90纳米的深紫外光刻机早就开始大规模生产了，主要用来做汽车电子和消费芯片这些成熟的市场，国内的市场份额一直在往上爬。到了2024年初，28纳米的浸没式机型也开始交付；按照计划，到了2025年5月，第一台就会进入批量出货阶段。整机国产化率都超过了85%，光源功率也提得老高，像双工件台这些核心部件的自主程度也非常高。设备在验证产线跑了好几圈都挺稳定的，良率曲线一路往上走。这些中端机型一出来，工厂就不再迷信进口货了，成本降下来了，供应链的安全感也增强了不少。 先进封装光刻机这块儿也是国产装备里的一把尖刀，上海微电子在国内的份额已经突破了80%。当然了，咱们还得一步步来先把中端做稳再说。哈尔滨工业大学团队选择了“放电等离子体”这条路子去攻关光学系统和光源这两个难点。镜头的平整度要控制在0.1纳米以内呢！系统软件还得协调十万个零件一起动；光源那边激光每秒要轰击锡滴几万次呢！2022年他们推出样机、2023年搞出原型、2024年通过关键测试；到了2025年初终于宣布13.5纳米极紫外光源突破了！体积小、能耗低。 长春光机所这些团队也没闲着呢！他们在优化镜面镀膜还有波前控制；国产光刻胶在28纳米节点的良率都超过90%了！子系统一个个被攻克了下来。 现在回过头来看朱士尧的那句话其实挺有道理的，少喊口号多干点实事儿才行。国产光刻机在成熟领域已经有了竞争力了；28纳米机型验证产线跑得很稳；光源突破给后续整机带来了新希望；产业链配套越来越全；高端装备自主能力也在稳步积累着呢。科技突破靠的是日积月累嘛！尊重产业规律，路才能走得稳、走得远。