咱们把目光转回1997年，美国英特尔拉着IBM、摩托罗拉等一大堆企业搞了个EUV联盟，想搞点大动作。当时日本的尼康正风光无限，技术底子厚得很，但老美觉得还是自己安全，硬是把日本排除在外。这下可好了，美国能源部、美国核弹实验室都凑到了一起，队伍不小了。 就在这节骨眼上，飞利浦公司的一个叫ASML的小团体跑出来站队，说要给美国开工厂，还表示机器零件七成都得从美国买，随时接受检查。这对于想控制核心技术的美国来说，简直是求之不得。于是这笔买卖就这么成了。 时间来到2015年，全球首台能真正量产的EUV光刻机在荷兰一个小镇上正式露脸。这机器有180吨重，里面装了10万个零部件，大家都叫它“工业至尊”。如果把设计图纸平铺开来绕地球一圈都不够；要是把它拆成零件再运走，全球的物流网估计得瘫痪好几天。跟这种东西比起来，原子弹算个啥？现在能造出氢弹的势力也就剩下5家左右，可摸到这玩意儿门槛的只有ASML这一家。 哪怕现在把ASML的图纸全部摊开摆在桌子上，短时间内也没人能复刻出来。因为真正的壁垒不在图纸上，而在于那些供应商和工程上的极限。比如想要制造出13.5纳米波长的极紫外光，就必须用20千瓦的激光每秒轰击直径20微米的锡珠5万次，把锡滴轰成等离子态才行。而且机器内部得保持绝对真空，这点杂质都不能有。德国蔡司提供的反射镜精度也高得吓人，误差不超过一根头发丝。 再看看机器内部的构成：光源是美国Cymer提供的，镜头是德国蔡司做的，材料用的是日本TokinASML的技术。ASML自己手里也就握着一成核心技术。大家看到这一堆零件就明白了，老美掐住了供应链的脖子。 封锁往往能逼出高手来。现在的芯片制程都在5纳米、7纳米这种级别了，全指望那几台EUV光刻机活着呢。要是断供了怎么办？只能一个一个环节去攻克难关。 中国企业也在拼命追赶：光源方面有科益虹源在死磕；镜头这块长春光机所也没闲着；就连光刻胶和双工作台这些角落环节也都在国产化路上狂奔。 虽然咱们现在还在28纳米甚至更后面的制程上摸索着前进，但别忘了原子弹当初也是从无到有造出来的。只要还是物理定律说了算，就没有什么是不可战胜的。西方用了半个世纪攒下的家底才搞出了EUV光刻机，咱们想在短短几年内追上去，这就是一场你死我活的较量啊！