有个处理氮化铝陶瓷基板起泡发黑的方案，这次问题出在生产线上，氮化铝陶瓷基板经过化学镀镍后，局部区域鼓起透明水泡，一按就破。而且它的边缘也出现了灰黑的锈斑，只在角落，背面却正常。这问题排查后发现，是基材和烘干环节有问题。 分析发现，起泡的原因是钨层疏松了，YAP、YAM玻璃相聚集在表面，导致镍层无法和钨层形成金属键，应力释放后就鼓包。微观扫描发现正常区钨层致密，白区疏松。 接着又做了五组烘干对比试验，发现冷水冲洗倒扣烘干，水蒸气让氮化铝水解变黑；而热水冲洗切水再朝上烘干，积水就没了，黑斑也消失了。 所以给了双保险方案：一是来料把关建立图谱，亮斑就不合格；二是工艺固化出槽后热水冲洗切水朝上烘干。执行后问题就解决了，产品还通过了810 ℃氮氢退火考核。