问题——关键材料消耗增加，稀散金属回收迫眉睫 在显示面板、触控器件和薄膜光伏等制造环节中，ITO透明导电薄膜是基础材料，靶材则是薄膜沉积的“源头”；在溅射过程中，靶材会因消耗不均、性能下降或到达寿命而产生废料。这些废料并非普通固废，通常仍含有一定比例的铟等有价金属。铟属于稀散金属，地壳丰度低、分布分散，原生供给波动和成本压力长期存在。如何提升回收利用水平，形成更稳定的二次资源供给，已成为电子材料产业必须面对的课题。 原因——来源复杂与指标严苛，决定回收“不是简单再熔一遍” 与一般金属回收不同，废旧ITO靶材再生主要面临两类难点： 一是物料差异大。不同批次、工艺和使用环境下的靶材，在铟锡比例、杂质含量和结构形态上差异明显。如果“混收混炼”，不仅影响回收率，还可能导致再生粉体指标不稳定、难以达标。 二是产品标准高。ITO靶材最终要回到电子级应用，粒径分布、化学计量比、纯度以及微观缺陷控制，都会直接影响薄膜的均匀性、电导率和光学透过率。这也意味着回收端需要材料化学、冶金提纯、陶瓷成型等能力协同，建立可追溯、可复制的工艺体系。 影响——既是资源安全“缓冲器”，也是绿色制造“减压阀” 从产业链看，高效回收体系有助于降低对原生铟资源的依赖。铟多来自锌冶炼副产物，受上游供给和市场周期影响较大；二次资源回收可在一定程度上对冲波动，提升关键材料供应韧性。 从绿色低碳看，回收再生可减少开采与冶炼带来的能耗和排放，有助于电子制造业在材料环节实现“减量化、再利用、资源化”。同时，完善的回收链条也能促进固体废物规范处置，降低企业在危废与一般工业固废管理中环境风险。 对策——“检测分级+湿火联用+再合成”的全流程打通，重在杂质控制与性能恢复 据业内介绍，规范回收通常从分类鉴别开始。专业机构会通过X射线荧光光谱等无损检测手段，对废旧靶材进行快速分析，并按铟含量、杂质类型和物理形态分级管理，为后续工艺选择提供依据。该步既影响回收经济性，也决定再生产品的一致性。 在提取与提纯环节，江苏部分企业采用湿法与火法结合的路线：湿法阶段通过酸溶将破碎靶材中的铟等金属离子转入溶液，再通过多级萃取与反萃实现分离富集；火法阶段通过高温处理等方式深入净化，获得更适合材料再制备的中间产品。 更关键的是“回到材料”的再合成。分离得到的铟化合物需要在化学计量比与纯度受控的前提下，与锡源重新合成为电子级ITO粉末，常用方法包括共沉淀、溶胶凝胶等精细化学路线。粉末制备后，再通过等静压成型与可控气氛烧结实现致密化。烧结过程中对升温曲线与氧分压的控制尤为关键，以避免成分偏析、微裂纹等缺陷，确保再生靶材达到密度、纯度与导电等指标要求。 业内人士指出，再生靶材能否进入高端应用，核心在于杂质去除是否彻底、性能恢复是否稳定。废旧靶材可能携带基板残留、环境污染物或工艺引入杂质，控制不当易造成薄膜沉积缺陷，进而影响终端器件良率。因此，回收体系需要强化质量管理与过程监测，从“只看回收率”转向“回收率与性能双达标”。 前景——从“废料回收”迈向“城市矿山”精细开发，协同标准与产业链布局 面向未来，随着显示与光伏产业规模扩大、材料迭代加快，ITO靶材等关键材料的循环利用空间将进一步打开。下一步可在三上形成合力：一是推进标准化与可追溯体系建设，明确废旧靶材分级、检测方法与再生产品指标，减少“同名不同质”的市场风险；二是推动回收端与材料端、制造端协同，优化“回收—再生粉体—靶材制造—薄膜应用”闭环，提升再生材料稳定供给能力；三是持续攻关杂质控制、低能耗提纯与高一致性粉体制备技术，降低成本与能耗，提升再生材料竞争力。
从废旧靶材中“找回”铟等关键资源，是用技术推动资源循环的一条可行路径。未来，再生材料能走多远，取决于回收率、纯度与成本能否实现协同优化，并通过标准化、规模化形成稳定供给。把工业废料转化为高端制造可用的基础原料，不只是资源与环保问题，也关系到产业安全与绿色竞争力的长期布局。