2023年上海在全国率先拿到了国家二级标准物质定级鉴定审批权,并且在浦东新区和奉贤区搞了试点,把全国第一张省级市场监管部门审批的证书发给了同济大学国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)。这个中心是同济大学牵头,加上张江实验室一块儿筹建的,在上海市市场监管局的指导下从2024年就开始建了。2025年7月,国家市场监管总局觉得上海的做法挺好,就把这个经验推广到了整个上海,还有内蒙古、湖南、四川的部分地方。这次通过审批的3项标准物质分别是八英寸晶圆级100nm的一维光栅标准物质、八英寸晶圆级200nm的二维栅格标准物质和八英寸晶圆级100nm的凹陷缺陷标准物质。 这3项标准物质就像一把“尺子”,可以帮着检测设备把数值校准准,让厂家不再因为测不准、测不精、测不全而发愁。以前的几何量标准物质大多用小尺寸衬底做的,只适合在实验室里用,现在的这些标准物质能直接用在集成电路自动化检测上。 对于提高我国集成电路微纳检测设备的计量能力、完善产业技术体系特别有意义。上海市市场监管局在审评时特别仔细,把技术能力、数据源头这些全看了一遍,还搞了电子证书免费邮寄这些便民服务。到现在为止,上海已经发了41张二级标准物质证书,涉及56项标准物质。 这批标准物质能帮助国内的检测设备企业解决难题,也能让产业链上下游的公司都来参与研发生产。此前上海还做过灭活基孔肯雅病毒标准物质、赭曲霉毒素纯度标准物质和紫外可见全波长溶液标准物质,填补了不少国内的空白。还有一个中国仓鼠卵巢细胞基因组DNA标准物质,对提高抗体药物、重组蛋白药物这些生物制品的质量特别有帮助。