奥拓、麦沄、诺视这5家企业近期都公布了Micro LED相关专利,本周还有微玖(苏州)光电、海目星激光等公司跟进,这些专利集中在Micro-LED显示屏显示、芯片封装、光机设计、侧壁刻蚀修复、全彩器件制备、芯片转移等多个领域。大家都想通过这些技术把Micro LED的发光性能、良品率和显示效果给提上去。 插播一句,想加入Micro LED交流群的朋友可以联系凌语:hangjia199。 先来说奥拓电子,2月27日他们的“一种防拍照方法、系统和Micro LED显示屏”专利已经拿到了有效授权。这个发明主要是为了提高系统的保密性和安全性,让观看体验和视觉效果都更好。 再看麦沄显示,同一天他们的“一种micro-VCSEL芯片的封装结构及其制造方法”进入了审中公布阶段。这种结构包括承载基板、microVCSEL芯片还有隔离绝缘层和金属互联结构。承载基板可以是Si复合、绝缘复合、TGV或者绝缘透明基板,通过巨量转移把芯片固定在基板上。 微玖(苏州)光电这边最近也有了新动态。他们的“一种改善AlGaInP红光Micro LED侧壁刻蚀损伤的方法”获得了授权,“一种基于离子注入的InGaN全彩Micro-LED器件制备方法”则正在公示中。针对ICP干法刻蚀会在侧壁产生50100nm的损伤层,导致器件效率低的问题,微玖用清洗、图形化光刻、ICP干法刻蚀、弱酸+氧化剂湿法修复这一套流程来解决。 诺视科技(苏州)有限公司也公布了“一种Micro LED合色组件、模组和光机”的专利。这个设计有三个光源单元分别提供三种单色光,通过连接器把三个柔性电路板叠层连接起来,形成“三明治”结构。 最后是海目星激光科技集团股份有限公司的“一种用于Micro LED芯片转移的吸附结构”已经拿到了有效授权。这种结构简单耐用,能在转移芯片时不损伤器件。 微玖的那个改善红光侧壁损伤的方法效果很明显:修复后损伤层的去除率能达到90%以上,光致发光峰值提升了25%以上。这个方法不需要专用设备就能做到这些,还能兼容量产流程,特别适合AR/VR这类全彩显示场景使用。