问题——关键部件受制约，先进制程对真空系统提出更高要求。 半导体制造中，真空环境覆盖刻蚀、沉积、离子注入等多道关键工序。干式真空泵作为真空系统的核心动力源，直接影响工艺稳定性、洁净度与良率。长期以来，高端干式真空泵市场主要由欧美、日韩企业占据，国内先进制程产线在关键部件上仍存在不同程度的外部依赖。随着先进制程推进，产线对稳定供给与快速响应的要求提升，真空泵国产化也从“可用”走向“好用、耐用、可持续迭代”，成为产业链补短板的紧迫任务。 原因——国家级科研平台牵引，工程化能力成为分水岭。 中科仪作为中国科学院体系内聚焦洁净真空、超高真空技术的企业——依托多个国家级研发平台——形成从基础研究、关键部件设计到整机工程化与应用验证的技术体系。公司多次入选国家“专精特新”小巨人企业，并获国家知识产权优势企业等称号。截至2025年末，公司累计取得授权发明专利103项、实用新型专利20项，软件著作权登记37项。业内人士指出，干式真空泵不仅是精密机电产品，更考验“材料、密封、控制、工艺适配”等综合能力：能否在不同工艺窗口稳定运行并通过客户侧严格验证，是国产厂商能否突围的关键。 影响——“集成电路+光伏”双轮驱动，需求扩张与国产替代形成共振。 一上，全球集成电路市场持续扩容。对应的机构预计2025年全球集成电路市场规模将较上年明显增长，中国大陆集成电路产业收入也将保持较快增速。公司测算显示，2024年全球集成电路产业对干式真空泵需求约12.57万台、市场规模约125.74亿元；中国大陆需求约5.21万台、市场规模约52.11亿元。 另一方面，光伏装机景气带动设备更新与扩产。行业统计显示，近年全球及我国光伏新增装机容量保持较高增长。按公司测算，2024年我国光伏产业对干式真空泵需求约6.7万至8.2万台，市场规模约47.0亿至57.2亿元。 需求扩张的背景下，国产替代的“窗口期”正在打开。中科仪已成为国内集成电路领域出货量较大的国产干式真空泵制造企业之一，并在先进制程实现批量应用，在清洁、中等、苛刻等不同工艺场景形成规模化装机。除硅基半导体外，其产品在碳化硅、砷化镓等化合物半导体制造环节也实现批量交付。公司产品已在国内多家晶圆制造企业大批量应用，并在部分国际头部晶圆厂完成测试验证、实现小批量出货，显示国产设备核心部件的可靠性与一致性正在提升。 对策——以扩产与研发并举，构建从供给能力到服务体系的全链条优势。 业内分析认为，干式真空泵的竞争不只体现在单台性能指标，更体现在交付周期、备件体系、维保响应、工艺协同与持续迭代能力。围绕产业需求变化，企业需要通过产能扩张缓解交付压力，通过研发投入提升产品覆盖面，并完善现场服务与质量追溯体系。中科仪披露的募投项目预计将提升干式真空泵产能，增强研发能力并丰富产品体系，以更好匹配先进制程、化合物半导体及光伏等领域的多场景需求。 同时也需看到，行业仍面临技术迭代加快、市场竞争加剧等挑战。企业在推进国产替代过程中，应把可靠性与长期稳定运行作为基本要求，强化供应链韧性与核心零部件自研能力，并通过与整机设备厂、晶圆厂的协同验证，缩短从研发到量产的周期。 前景——在产业链自主可控大趋势下，高端真空装备国产化空间广阔。 从行业周期看，先进制程推进、存量产线升级及新建产线落地，将持续抬升对高端真空系统的需求；从结构性机会看，化合物半导体、先进封装等新赛道对洁净真空提出差异化要求，也为国内厂商带来“错位突破”的空间。中科仪近年营收保持较快增长，2025年营业收入达12.91亿元；剔除股份公允价值变动影响后，扣非归母净利润连续增长，反映主营业务韧性增强。未来，随着产能释放、产品系列完善及国际验证持续推进，其在国产替代与高端市场渗透上仍具上行空间。
核心部件的突破从来不是一蹴而就：既要在实验室里攻克原理与材料，也要在产线上经受长周期运行与严苛工艺的考验。真空泵只有“跑得稳、供得上、用得久”，才能真正支撑先进制造。面向未来，持续的研发投入、产业协同与质量体系建设，将决定国产替代能走多深、产业链韧性能走多远。