华南有一家做集成电路封装测试的公司，原来的废气处理设备太旧了，达不到新的排放标准。为了把这事儿解决好，他们决定砸800万元搞个大改造，目标就是要让有机废气和酸性废气都达标，还得考虑怎么省电省成本。 这家工厂的废气主要来自三个环节。封装的时候，环氧树脂固化会冒出苯系物、酮类这些有机废气；电镀工序里有氰化氢和硫酸雾；还有测试工序里挥发的少量有机溶剂。这些废气的特点就是浓度变化特别大，50到1000毫克每立方米都有可能出现，成分也很杂。 工程师们想了个“预处理加组合工艺”的法子来对付它们。有机废气这块，先是把气收集起来过滤一下，再用活性炭去吸附。等到活性炭吸满了就给它蒸汽脱附，脱附出来的高浓度气就送进350度的催化燃烧炉烧掉。 酸性废气那边是先喷淋碱液再加上氧化剂进行处理。特别是对于氰化氢这种有毒气体，特意加了次氯酸钠来保证分解彻底。这套系统设计的风量是每小时2万立方米，吸附效率能超过90%。为了保险起见，还设置了应急旁路和在线监测。 改造完后效果很明显。数据显示非甲烷总烃降到了60毫克每立方米以下，苯系物更是低于1毫克每立方米。硫酸雾也控制在了20毫克每立方米以内，连最难缠的氰化氢都没查出来。 溶剂回收了15%，按这算下来一年能值50万块钱。用电量也省了30%以上，运行成本自然就降下来了。